一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置

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专利名称 一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置 申请号 CN201410839808.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104459858A 公开(授权)日 2015.03.25 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 宋楠;李晓天;于海利;唐玉国;刘兆武;糜小涛;于宏柱;齐向东 主分类号 G02B5/18(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/18(2006.01)I 专利有效期 一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置 至一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置,属于机械刻划平面衍射光栅制作领域,解决了现有技术影响光栅的衍射性能指标,稳定性差的技术问题;本发明包括旋转电机、旋转轴、气浮滑套、气浮导轨、刀架转接板、滑轮支撑架、接近开关、横梁、滑轮、钢丝绳、钢丝绳压板、滑套连接板和刀架配重块。所述气浮导轨及所述气浮滑套共有两个且平行放置,且所述两个气浮滑套固定连接。本发明采用所述钢丝绳与所述双气浮滑套的几何中心位置进行固定连接,通过所述电机带动所述钢丝绳实现所述双气浮滑套往复运动,有效避免了所述电机驱动产生的瞬态扭矩对刻划刀架运动稳定性的影响。

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