| 专利名称 | 相位掩模板自动切换装置 | 申请号 | CN201410810498.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104459875A | 公开（授权）日 | 2015.03.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 叶青;王迪;李璇;蔡海文;瞿荣辉 | 主分类号 | G02B6/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 相位掩模板自动切换装置 至相位掩模板自动切换装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于相位掩模板写入法刻写光栅的相位掩模板自动切换装置，由相位掩模板旋转切换夹具、步进电机、驱动电路与控制系统构成，本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作，可实现光纤光栅的自动化刻写，并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。 |
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