用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统

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专利名称 用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统 申请号 CN201410620550.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104459966A 公开(授权)日 2015.03.25 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 蔡燕民;王向朝;张友宝;步扬;唐锋;黄惠杰 主分类号 G02B21/02(2006.01)I IPC主分类号 G02B21/02(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I 专利有效期 用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统 至用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统,沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、…、直到第十八透镜,其中第一透镜至第四透镜组成第一镜组G1,其组合焦距为200mm,第五透镜至第十八透镜组成第二镜组G2,其组合焦距为4mm,物面到像面的放大倍率为1/50倍,物方视场半径为10mm,实现像方数值孔径为0.85。本发明全部采用高透过率的i线玻璃,成像质量接近完善成像,并且结构紧凑,完全可满足用于可见-紫外检测显微镜的技术要求。

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