| 专利名称 | 一种用于磁控溅射的高低压转换装置 | 申请号 | CN201410652562.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104451579A | 公开（授权）日 | 2015.03.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 夏原;李光;朱洪亚 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于磁控溅射的高低压转换装置 至一种用于磁控溅射的高低压转换装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出电极连接，从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较，此装置的电压转换更加安全可靠，能够实现高压绝缘和40-50kV高压冲击特性的开关，而且设计有自动控制系统，并合并到磁控溅射总控制系统中。 |
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