一种基体表面的CrN涂层制备方法

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专利名称 一种基体表面的CrN涂层制备方法 申请号 CN201410676157.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104451561A 公开(授权)日 2015.03.25 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 王永欣;叶育伟;李金龙;郭峰;薛群基 主分类号 C23C14/32(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 专利有效期 一种基体表面的CrN涂层制备方法 至一种基体表面的CrN涂层制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种基体表面CrN涂层的制备方法。该方法利用多弧离子镀技术,以金属Cr为靶材,以N2为反应气体,对Cr靶施加电流在基体表面沉积CrN涂层,在沉积过程中,控制基体负偏压呈梯度变化,一方面有利于提高CrN涂层的耐腐蚀性,另一方面有利于CrN涂层结构致密度,从而提高CrN涂层的硬度、耐磨损性能及承载能力。因此,该方法适用于高磨损高腐蚀作业环境中的基体,例如海洋环境作业的机械运动基础件等基体,能够提高基体的性能可靠性和使用寿命。

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