| 专利名称 | 一种介质钝化膜和太阳能电池及其制备方法 | 申请号 | CN201310390528.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104425633A | 公开（授权）日 | 2015.03.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 叶继春;王洪喆;高平奇;潘淼;韩灿 | 主分类号 | H01L31/0216(2014.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/042(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 专利有效期 | 一种介质钝化膜和太阳能电池及其制备方法 至一种介质钝化膜和太阳能电池及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种介质钝化膜和太阳能电池及其制备方法，具体地公开了一种适用于硅基材料的表面介质钝化膜，该介质钝化膜是位于硅基材料表面的氮化硅介质钝化膜，钝化膜中含有选自下组的掺杂元素：使氮化硅介质钝化膜表现为负电性的掺杂元素、使氮化硅介质钝化膜表现为正电性的掺杂元素、或其组合。本发明的表面介质钝化膜不仅具有优异的抗反射性和钝化性，而且可具有光照增强钝化效果，且在短时间的光照下就能到达饱和钝化值。此外，本发明还公开了一种含有该表面介质钝化膜的镀膜硅基材和太阳能电池及其制备方法。 |
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