| 专利名称 | 太赫兹波频谱检测器 | 申请号 | CN201310410510.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104422517A | 公开（授权）日 | 2015.03.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 孙建东;秦华;孙云飞;张宝顺 | 主分类号 | G01J3/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/28(2006.01)I;H01Q1/22(2006.01)I | 专利有效期 | 太赫兹波频谱检测器 至太赫兹波频谱检测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本申请公开了一种太赫兹波频谱检测器，以高电子迁移率晶体管为基本结构，高电子迁移率晶体管的沟道处设有天线，以产生太赫兹电场，天线与高电子迁移率晶体管集成设置，且与高电子迁移率晶体管的源极和漏极完全独立，天线包括第一天线和第二天线，第一天线连接于第一栅极，以调节二维电子气浓度；第二天线连接于第二栅极和第三栅极，以形成二维等离子体波谐振腔，第二栅极和第三栅极分别位于所述第一栅极的两侧。在太赫兹波辐照下，能在检测器两端形成开路电压或者短路电流信号，通过扫描栅压得到太赫兹频率。本发明可有效强化栅极对二维等离子体波的调控，实现对太赫兹波的高速、高效、高灵敏度和低噪声的频谱检测，且结构微型化、高度集成化。 |
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