| 专利名称 | 增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法 | 申请号 | CN201410541559.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104404475A | 公开（授权）日 | 2015.03.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 裴为华;国冬梅;陈远方;张贺;陈弘达 | 主分类号 | C23C16/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/02(2006.01)I | 专利有效期 | 增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法 至增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳米结构的聚对二甲苯薄膜上沉积金属，完成制备。本发明通过氧反应离子刻蚀工艺进行表面改性，在聚对二甲苯薄膜的表面形成绒毛状的纳米结构，提高聚对二甲苯薄膜的表面能，从而增强聚对二甲苯薄膜与金属层之间的粘结强度。 |
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