| 专利名称 | 一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置 | 申请号 | CN201420518689.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204165736U | 公开（授权）日 | 2015.02.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 卢云君;唐锋;王向朝 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置 至一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种物镜成像系统的波像差高精度测量装置，主要包含光源1、待测物镜成像系统10、辅助光学元件2～5、波前传感器6控制系统7～8和数据采集处理系统9。从光源1发出的光依次经过准直镜2、分光镜3、聚焦镜4、待测物镜成像系统10后，入射到标准球面反射镜5反射并原路返回至分光镜3，一部分透射至波前传感器6中，测量反射光所携带的波像差W1。通过控制模块将待测物镜系统10移出，调整标准球面反射镜5的位置，再一次测量反射光所携带的波像差W2。由W1-W2计算得到待测物镜系统的波像差的大小，有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。在本实用新型中，该装置不需要高精度的标准光源，降低了成本，系统结构紧凑，具有简单易于实现等优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障