绿光LED外延层结构及生长方法

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专利名称 绿光LED外延层结构及生长方法 申请号 CN201410636516.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104393132A 公开(授权)日 2015.03.04 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 刘炜;赵德刚;陈平;刘宗顺;朱建军;江德生 主分类号 H01L33/12(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/12(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 专利有效期 绿光LED外延层结构及生长方法 至绿光LED外延层结构及生长方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种绿光LED外延层结构及生长方法,其中绿光LED外延层结构,包括:一衬底,该衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓或砷化镓;一GaN缓冲层,其生长在衬底上;一非掺杂GaN层,其生长在GaN缓冲层上;一N型GaN层,其生长在非掺杂GaN层上;一多量子阱区,其生长在N型GaN层上;一P型AlGaN层,其生长在多量子阱区上;一P型GaN层,其生长在P型AlGaN层上;一P型GaN盖层,其生长在P型GaN层上。本发明是通过提高MQW中空穴的注入效率和减小InGaN量子阱中的QCSE效应,实现绿光LED发光效率的提升。

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