| 专利名称 | 绿光LED外延层结构及生长方法 | 申请号 | CN201410636516.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104393132A | 公开(授权)日 | 2015.03.04 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 刘炜;赵德刚;陈平;刘宗顺;朱建军;江德生 | 主分类号 | H01L33/12(2010.01)I | IPC主分类号 | H01L33/12(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 专利有效期 | 绿光LED外延层结构及生长方法 至绿光LED外延层结构及生长方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种绿光LED外延层结构及生长方法,其中绿光LED外延层结构,包括:一衬底,该衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓或砷化镓;一GaN缓冲层,其生长在衬底上;一非掺杂GaN层,其生长在GaN缓冲层上;一N型GaN层,其生长在非掺杂GaN层上;一多量子阱区,其生长在N型GaN层上;一P型AlGaN层,其生长在多量子阱区上;一P型GaN层,其生长在P型AlGaN层上;一P型GaN盖层,其生长在P型GaN层上。本发明是通过提高MQW中空穴的注入效率和减小InGaN量子阱中的QCSE效应,实现绿光LED发光效率的提升。 |
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