| 专利名称 | 一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法 | 申请号 | CN201410767829.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104375392A | 公开（授权）日 | 2015.02.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邢莎莎;林妩媚;廖志杰;邢廷文 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法 至一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法，首先限制各微反射镜单元偏转角度初始值在一定的范围内，使得目标面上反射光斑靠近目标光强分布区域；将目标面实际光强分布与拟产生目标光强分布差值作为评价函数，将其按每点像素值大小分组；保持像素值满足收敛条件的点所对应微反射镜单元的偏转角度不变；对像素值不满足收敛条件的点，计算其所对应微反射镜单元的偏转角度的优化值，并更新评价函数，进一步筛选像素值不满足收敛条件的点，对优化值重新进行更新，直到收敛。采用本发明可快速，有效的返回微反射镜阵列驱动电压值，可实现不同照明模式间的快速切换。 |
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