| 专利名称 | 纳米结构的引导组装方法 | 申请号 | CN201410636657.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104370274A | 公开（授权）日 | 2015.02.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 发明（设计）人 | 季生象;刘亚栋;李晓;保罗·富兰克林·内利 | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 纳米结构的引导组装方法 至纳米结构的引导组装方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法，包括以下步骤：在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料，所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段；诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构，形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段，能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性，在图案周期比聚合物相分离周期大90％的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构，从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中，使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时，无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构，并且无缺陷。 |
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