| 专利名称 | 一种控制微纳结构倒伏的方法 | 申请号 | CN201410546257.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104386646A | 公开（授权）日 | 2015.03.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 刘刚;熊瑛;田扬超;侯双月 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种控制微纳结构倒伏的方法 至一种控制微纳结构倒伏的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种控制微纳结构倒伏的方法，通过添加辅助结构使得加工的大高宽比微纳结构在干燥过程中受控倒伏，利用微纳结构有规律的倒伏来实现微纳结构的加工。微纳结构受表面张力的作用是相互靠近的，在其周围添加辅助结构来限制他们在某些方向上的运动，可以控制微纳结构朝着所需的方向倒伏，本发明基于现有工艺，通过将干燥过程带来的微纳结构不可控的无规倒伏变为可控的有规律倒伏来满足加工的需求。 |
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