| 专利名称 | 步进投影光刻机 | 申请号 | CN201430305498.3 | 专利类型 | 外观设计 | 公开（公告）号 | CN303108010S | 公开（授权）日 | 2015.02.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 蒋薇;王楠;胡松 | 主分类号 | 15-09(9) | IPC主分类号 | 15-09(9) | 专利有效期 | 步进投影光刻机 至步进投影光刻机 | 法律状态 | 说明书摘要 | 1．本外观设计产品的名称：步进投影光刻机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于集成电路、半导体元器件、光电子器件的研发和制造。3．本外观设计产品的设计要点：为产品整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。5．请求保护的外观设计包含色彩。 |
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