| 专利名称 | 一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置 | 申请号 | CN201420646221.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204155906U | 公开（授权）日 | 2015.02.11 | 申请（专利权）人 | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 钟达;史浩飞;崔华亭;李占成;谭其良 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 专利有效期 | 一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置 至一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及石墨烯薄膜生产装置技术领域，尤其涉及一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置，包括第一夹具和第二夹具，所述第一夹具为由第一夹具柱组成的方形框架结构，所述第二夹具为由四个第二夹具柱组成的方形框架结构，所述第一夹具的方形大小和所述第二夹具的方形大小相同，且所述第一夹具设置在所述第二夹具的上方，所述第一夹具和所述第二夹具通过活动卡扣连接，所述第一夹具和所述第二夹具之间设有夹具间隙。本实用新型的有益效果是：采用第一夹具和第二夹具组成的转移装置，在对石墨烯片进行刻蚀前对其进行夹持，不仅能方便对石墨烯片的转移，并且能对石墨烯片在刻蚀时进行保护，避免石墨烯片触及刻蚀液槽底部导致石墨烯薄膜的损伤。 |
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