| 专利名称 | 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 | 申请号 | CN201410614414.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104330870A | 公开（授权）日 | 2015.02.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘俊伯;程依光;司新春;邓钦元;周毅;高洪涛;胡松 | 主分类号 | G02B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 至一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，该物镜采用了双远心结构，共10片镜片，工作波段为365nm±10nm。物镜光学物像共轭距为L＝350mm，其中物方工作距为85.2mm，像方工作距约为79.5mm。物方有效视场为20mm×20mm，物方数值孔径NA＝0.19，工作分辨力为σ＜100μm。 |
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