| 专利名称 | 基于声光外差移相的平晶自标定共光路干涉仪 | 申请号 | CN201410690436.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104330021A | 公开（授权）日 | 2015.02.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 张文喜;相里斌;吕笑宇;李杨;伍洲;孔新新;周志盛;周志良;刘志刚 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于声光外差移相的平晶自标定共光路干涉仪 至基于声光外差移相的平晶自标定共光路干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于声光外差移相的平晶自标定共光路干涉仪，通过采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好，且研制难度与成本可以降低，尤其对于大口径面形的测量，相比机械驱动同样的优势更明显；同时，采用低频差外差干涉与高速面阵探测器连续采集，获得的信息量更丰富，更有利于精确解算相位，更有利于克服噪声等因素影响；另外，增加点衍射自标定光束，测量时用点衍射光预先标定参考镜，可以既降低了参考镜的精度要求，又提高了测量的精度，还降低了干涉仪研制的难度与成本。 |
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