| 专利名称 | 一种掩模与基底六自由度对准装置 | 申请号 | CN201410607056.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104331116A | 公开（授权）日 | 2015.02.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李金龙;胡松;赵立新 | 主分类号 | G05G13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G05G13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种掩模与基底六自由度对准装置 至一种掩模与基底六自由度对准装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置，含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉；掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接。本发明结构紧凑，适用于空间狭小的环境，并可完成掩模与基底的六自由度高精度对准。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障