| 专利名称 | 一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器 | 申请号 | CN201410614452.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104330890A | 公开（授权）日 | 2015.02.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 方亮;石振东;汪为民;王强;邱传凯;周崇喜;田中群 | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器 至一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。 |
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