| 专利名称 | 真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法 | 申请号 | CN201410617244.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104316181A | 公开（授权）日 | 2015.01.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王淑荣;于磊;林冠宇 | 主分类号 | G01J3/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/28(2006.01)I | 专利有效期 | 真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法 至真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 真空紫外平面光栅色散光谱仪的装调方法，属于光谱技术领域，为解决真空紫外光栅光谱仪在装调时精度下降的问题，该方法以干涉仪为光源，用平面镜对原光路中的真空紫外光栅进行替代，通过系统波像差干涉图依次对光谱仪的望远系统、准直系统和狭缝进行装调；之后用可见光光栅代替平面镜，用汞灯和准直系统搭建的平行汞灯特征光谱准直光为装调光源，计算系统在真空紫外波段下的像面理想光谱谱图，根据换用的可见光光栅与待装调真空紫外光谱仪的真空紫外光栅的刻线密度之比，计算对应汞灯特征谱的真空紫外波长，将对应汞灯特征谱的各个真空紫外光谱谱线在像面上的位置记录，依次调整光栅、聚焦镜，使汞灯特征谱线位置落到计算获得的各个最佳位置上。 |
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