| 专利名称 | 强激光涡旋反射镜 | 申请号 | CN201410553468.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104297825A | 公开(授权)日 | 2015.01.21 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 周常河;余俊杰;贾伟;卢炎聪;项长铖 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | 专利有效期 | 强激光涡旋反射镜 至强激光涡旋反射镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
一种强激光涡旋反射镜,其特征在于:在光学玻璃或熔融石英基底上通过光刻的方法刻蚀出N瓣扇区N个台阶的微结构,第n个台阶对应的刻蚀深度为 |
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