| 专利名称 | 一种MEMS检测装置及其制造工艺 | 申请号 | CN201310304674.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104296784A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 于连忠;孙晨 | 主分类号 | G01D3/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D3/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种MEMS检测装置及其制造工艺 至一种MEMS检测装置及其制造工艺 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种MEMS检测装置，包括：测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。从而在外部冲击力幅度超出检测装置的限定幅度时，保护质量块，进而保护检测装置。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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