| 专利名称 | 滚动灰度光刻的DMD动作方法 | 申请号 | CN201410508288.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104298077A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 许家林;孙强 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 滚动灰度光刻的DMD动作方法 至滚动灰度光刻的DMD动作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于滚动灰度光刻的DMD动作方法，使用DMD多个微镜对光刻胶的单个像素进行曝光，DMD相对于光刻胶相对运动和曝光动作同时进行。本发明公开了DMD的具体动作的时序，DMD动作的微镜状态编码方法，DMD状态寄存器的存储RAM的更新方法，数据获取方法和大小。本发明的滚动灰度光刻的DMD动作方法使得光刻机能够连续光刻，并且刻蚀的图案是8位灰度图案。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障