丙酮气敏传感器及其制备方法

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专利名称 丙酮气敏传感器及其制备方法 申请号 CN201410621459.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104297303A 公开(授权)日 2015.01.21 申请(专利权)人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明(设计)人 傅剑宇;吴迪;周博天;袁野;严胡勇 主分类号 G01N27/12(2006.01)I IPC主分类号 G01N27/12(2006.01)I 专利有效期 丙酮气敏传感器及其制备方法 至丙酮气敏传感器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种丙酮气敏传感器,包括:底座,底座包括镂空结构;支撑层,一侧与底座的正面复合,且支撑层悬空地架设在镂空结构上;加热电阻,设置在支撑层的另一侧;绝缘层,复合在加热电阻及支撑层的另一侧;两个电极,间隔地设置在绝缘层的远离支撑层一侧的表面上;对丙酮气体敏感的敏感层,设置在绝缘层的外侧,且两个电极分别与敏感层的两侧连接。由于支撑层悬空地架设在镂空结构上,因此构成了不含底座材料的多层膜结构,有效降低了结构热导,加热电阻在低功率的情况下就能使敏感层温度升至工作温度,从而进一步降低了丙酮气敏传感器功耗,使器件具有高集成度、低功耗的特点。

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