| 专利名称 | 基于低频差声光移频器移相的外差干涉仪 | 申请号 | CN201410515890.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104296678A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 相里斌;张文喜;吕笑宇;孔新新;李杨;伍洲;周志盛 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 基于低频差声光移频器移相的外差干涉仪 至基于低频差声光移频器移相的外差干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于低频差声光移频器移相的外差干涉仪，包括光束调整单元，用于将激光器的出射激光调整为两束激光；低频差移相单元，用于对光束调整单元得到的两束激光的频率进行调整以得到两束激光的输出差频为100赫兹以下的低差频；扩束单元，用于将低频差移相单元输出的两束激光的直径分别扩展为与待测面尺寸相等，并将扩束后的两束激光分别作为参考光和测量光；光束合束单元，用于将测量光经待测表面返回后与参考光合束产生干涉；面阵探测器单元，用于采集干涉。采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好。 |
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