| 专利名称 | 一种电容式位移传感器的线性度标定方法 | 申请号 | CN201410508663.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104296649A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 葛川;李朋志;李佩玥;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G01B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电容式位移传感器的线性度标定方法 至一种电容式位移传感器的线性度标定方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种电容式位移传感器的线性度标定方法属于位移测量技术领域，解决电容式位移传感器的测量精度无法满足微位移调节机构的定位精度需求的问题，标定方法如下步骤：安装各个设备于标定结构之上，调节并校准激光干涉仪光路，计算控制解耦矩阵，采用PID控制策略使驱动器在传感器的测量范围内运动采集测量数据，计算标定参数。本发明对电容传感器的线性度进行标定，可对电容传感器的线性度提高近一个数量级，使标定后的电容传感器的精度指标满足高定位精度需求。本方法的标定过程均可通过软件实现，具有简便、自动化程度高的特点；同时本方法也可应用于除电容传感器以外的其他非接触式位移传感器线性度的标定。 |
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