| 专利名称 | 激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法 | 申请号 | CN201410578818.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104294244A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李奇松;张龙;张红刚;姜雄伟;居永凤;白正元 | 主分类号 | C23C18/48(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/48(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I;C23C18/20(2006.01)I;C03C17/10(2006.01)I | 专利有效期 | 激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法 至激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法，该方法包含以下步骤：①二维结构制作；②激光辅助还原；③清洗；④化学镀；⑤后清洗。本发明可在硬质基底或柔性衬底上制作二维的金属合金结构，制作的铜镍合金理论上同时具备导电和导磁的性质，在电磁屏蔽、微流控芯片、集成电路等微纳器件领域有很高的应用价值。 |
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