| 专利名称 | 一种贵金属掺杂WO3气敏涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201310283496.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104278228A | 公开（授权）日 | 2015.01.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 黄晶;袁建辉;李华 | 主分类号 | C23C4/10(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C4/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种贵金属掺杂WO3气敏涂层及其制备方法 至一种贵金属掺杂WO3气敏涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超薄多孔亚微米结构的贵金属掺杂三氧化钨涂层及其制备方法，以贵金属纳米粒子掺杂WO3悬浮液作为喷涂原料，通过热喷涂工艺将所述的喷涂原料喷涂沉积到基体上，获得厚度5～20μm且多孔亚微米结构的贵金属掺杂WO3气敏涂层。该涂层中贵金属的含量在0.067wt%～2.440wt%。本发明得到的WO3涂层具备较高的比表面积，而且贵金属的掺杂也能有效提高WO3涂层的气敏特性。此外，本发明制备贵金属掺杂WO3涂层的设备及工艺简单、易控，沉积效率高，成本较低，适合工业化生产，有望产生极大的社会经济效益。 |
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