基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统

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专利名称 基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统 申请号 CN201420462978.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204086126U 公开(授权)日 2015.01.07 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 王玘;袁小文;孙聊新;张波;陆卫 主分类号 G01N21/25(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/25(2006.01)I 专利有效期 基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统 至基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统 法律状态 授权 说明书摘要 本专利公开了一种基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统,它包括一根单模光纤、一套成像放大系统、一个半透半反片、一套激光扩束系统、一个低频斩波器、一台激光器、一套显微镜系统和一个高频斩波器。纳米材料激光双调制反射光谱测量由以下部件实现:根据激光双调制工作原理,将高频斩波器调制后的白光源经过显微镜照明系统作为探测光,低频斩波器调制后的激光扩束后作为泵浦光,然后探测光和泵浦光经过同一显微物镜作用于样品表面,单模光纤作为视场光阑放置在二次放大像面处,通过电机控制对样品面进行二维扫描,获得相关光学信号。本专利实现了纳米量级区域的光谱探测,有效地消除了背景反射光的干扰,可以应用于微纳光学领域的光学特征光谱的测量。

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