| 专利名称 | 一种深紫外激光产生与传输装置 | 申请号 | CN201420289044.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204045925U | 公开（授权）日 | 2014.12.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 许祖彦;徐志;彭钦军;王志敏;杨峰;张丰丰;张申金;宗楠 | 主分类号 | H01S3/10(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/10(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I;H01S3/17(2006.01)I | 专利有效期 | 一种深紫外激光产生与传输装置 至一种深紫外激光产生与传输装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种深紫外激光产生与传输的装置，包括密封腔体、真空系统、深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内。本实用新型所公开的深紫外激光产生与传输的装置具有良好的完备性、可行性和小型性，简单可操作性与实用性。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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