| 专利名称 | 多功能模块化强流电子注分析系统 | 申请号 | CN201410383816.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104237672A | 公开（授权）日 | 2014.12.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 阮存军;李庆生;李崇山;吴迅雷;龙志翘 | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01T1/29(2006.01)I | 专利有效期 | 多功能模块化强流电子注分析系统 至多功能模块化强流电子注分析系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种强流电子注分析系统，包括在水平方向上安置的基座模块(B)，以及在该基座模块(B)上沿着水平方向依次安置多个功能模块，各功能模块共轴且具有统一的接口部件，所述基座模块(B)包括光学导轨(B1)和置于光学导轨(B1)上的刀架支撑支架(B2)，各个所述功能模块借助所述刀架支撑支架(B2)安置在所述光学导轨(B1)上。所述功能模块包括电子枪装配模块(G)、电子注传输过程模拟测量模块(F)、电子注能谱测量模块(E)和电子注截面测量模块(M)。本发明在方便地更换功能模块的同时，无需重新调节各模块的安装位置来保持对中，极大地提高了强流电子注分析的功能性和便利性。 |
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