| 专利名称 | 物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法 | 申请号 | CN201410456915.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104236856A | 公开（授权）日 | 2014.12.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 卢云君;唐锋;王向朝 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法 至物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种物镜成像系统的波像差检测装置，包含：光源、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜、分光镜、聚焦镜和标准球面反射镜，以及数据处理单元、与该数据处理单元分别连接的波前传感器、第一精密调整台和第二精密调整台；在本发明中，测量过程和系统误差标定过程的切换是通过改变标准球面反射镜5的位置来实现，由于两次测量过程中，标准球面反射镜5具有相同的调节精度，因此可以有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。本发明不需要高精度的标准光源，降低了成本，且装置的系统误差标定方法简单、结构紧凑，具有简单易于实现等优点，能够以简单的系统完成待测物镜成像系统的波像差检测。 |
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