| 专利名称 | 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜 | 申请号 | CN201410543114.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104238092A | 公开（授权）日 | 2014.12.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘俊伯;程依光;赵立新;胡松 | 主分类号 | G02B13/22(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/22(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜 至一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其采用了双远心、14片结构，工作波长为i线(365nm)。该物镜光学共轭总长(物方到像方)L＝500mm，物方、像方工作距均为60mm。物方有效视场为75mm×75mm，物方数值孔径NA＝0.055。经过面型优化和机械结构微调后，该光刻投影物镜像方分辨力能达到<5mm。该光刻机的投影物镜的数值孔径较高，可以有效提高光刻分辨力；该光刻机的投影物镜的总片数较少，且未采用非球面，可以在有效平衡像差的同时，降低加工装配的难度；该光刻机的投影物镜的光学共轭距较短，可以很好地集成入小型化光刻设备之中。 |
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