| 专利名称 | 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪 | 申请号 | CN201420482544.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204028565U | 公开（授权）日 | 2014.12.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪 至一种投影物镜波像差在线检测干涉仪 | 法律状态 | 说明书摘要 |
一种投影物镜波像差在线检测干涉仪，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫散射光学元件组成，与多模光纤阵列共同用于将相干光或部分相干光的光源转化为非相干光。通过采集相移量分别为0、 |
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