| 专利名称 | 一种45度平面镜的面形检测装置 | 申请号 | CN201420481780.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204027527U | 公开（授权）日 | 2014.12.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李永;唐锋;王向朝;李杰;吴飞斌 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种45度平面镜的面形检测装置 至一种45度平面镜的面形检测装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种45度平面镜的面形检测装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本实用新型在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测量，采用变权重法对子孔径面形数据进行拼接，得到全口径面形。本实用新型具有：1，操作简易，45度平面镜镜面不易变形，测量精度高；2，子孔径面形数据采用变权重数据融合拼接，精度高；3，通过改变第一标准镜和第二标准镜的反射率，既可以测量未镀膜面，也可以测量高反面，均有较高的干涉对比度的优点。 |
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