一种光学系统波像差测量装置

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专利名称 一种光学系统波像差测量装置 申请号 CN201420429293.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204008073U 公开(授权)日 2014.12.10 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 卢增雄;齐月静;苏佳妮;杨光华;周翊;王宇 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种光学系统波像差测量装置 至一种光学系统波像差测量装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种光学系统波像差测量装置,装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器,线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波;1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波;偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片,并透射来自1/4波片透射的p偏振光;1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波,以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波;反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回;夏克-哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本实用新型可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。

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