| 专利名称 | 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛 | 申请号 | CN201410478006.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104199135A | 公开（授权）日 | 2014.12.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 严伟;何渝;李艳丽;唐燕;赵立新;胡松 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛 至一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式rmn2＝2nfmnλ+n2λ2，其中rmn为环带半径；n为圆孔所在环带的环数；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；λ为波长。对应rmn上的透光孔的直径为 |
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