射频四极场电极极头三维空间曲面的测量方法

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专利名称 射频四极场电极极头三维空间曲面的测量方法 申请号 CN201410486562.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104197823A 公开(授权)日 2014.12.10 申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 孙国平;李学敏;孙国珍;谢春安;雷海亮;张小奇;徐大宇;王丰;王文进 主分类号 G01B7/28(2006.01)I IPC主分类号 G01B7/28(2006.01)I 专利有效期 射频四极场电极极头三维空间曲面的测量方法 至射频四极场电极极头三维空间曲面的测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及三坐标测量机测量复杂三维空间曲面技术领域,尤其是涉及一种利用三坐标测量射频四极场电极极头三维空间曲面的测量方法。其对RFQ电极建立三维空间数学模型,将数学模型导入到测量软件中编制测量程序。将RFQ电极放到三坐标测量机,先手动找正,之后利用程序找正,编制测量程序,利用扫描测头测量RFQ电极极头曲线,测量极头曲线最高点,采用矢量点的方法测量极头曲面点。其采用三坐标测量机,不仅能够完成对复杂三维空间曲面的测量,而且测量精度高,测量效率快,大大提高RFQ电极极头的加工检测水平。其保证了产品加工精度,提高工作效率,直观形象的反应出加工误差。

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