| 专利名称 | 一种调焦调平传感器测量装置 | 申请号 | CN201410374962.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104181777A | 公开（授权）日 | 2014.12.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 宗明成;李世光;王丹;魏志国;武志鹏;孙裕文 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种调焦调平传感器测量装置 至一种调焦调平传感器测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置，涉及测量技术领域，用于测量带有工艺的硅片的高度形貌，该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光刻胶或者具有某种结构时，自动计算测量高度对所述光刻胶或结构不敏感的光源光谱，相应调整光源的频率和带宽，以及探测器的响应范围，使调焦调平传感器的高度测量工艺相关性最小。在光刻曝光时，工件台将根据硅片形貌实时调节它的高度和倾斜，保证曝光区域保持在光刻机的对焦范围内，达到调焦调平的目的。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障