| 专利名称 | 一种光学系统像差补偿装置与方法 | 申请号 | CN201410473404.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104181780A | 公开（授权）日 | 2014.12.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘志祥;邢延文;吕保斌;徐富超 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学系统像差补偿装置与方法 至一种光学系统像差补偿装置与方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个密封段上安装有进气口流量控制器、出气口流量控制器、高精度气压计。本发明使用投影物镜内部分段控制的氮气气压作为补偿变量，当物镜像差发生变化时，采用算法计算各段气压的调整量，并通过计算机调节氮气流量，精确控制各密封段内的气压实现了投影物镜像差的动态补偿。 |
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