多环形自适应抛光磨头

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专利名称 多环形自适应抛光磨头 申请号 CN201410390349.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104175192A 公开(授权)日 2014.12.03 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 张健;马占龙;代雷;彭利荣;隋永新;杨怀江 主分类号 B24B13/01(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/01(2006.01)I 专利有效期 多环形自适应抛光磨头 至多环形自适应抛光磨头 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种多环形自适应抛光磨头,属于光学冷加工技术领域。解决了现有非球面抛光技术中磨头表面与工件表面不匹配、无法抑制中频误差的问题。本发明的多环形自适应抛光磨头包括法兰轴、多环刚性基底、柔性环和抛光环,其中,法兰轴的底端固定在多环刚性基底的顶端,多环刚性基底的底端设有具有相同圆心的多个圆环形凸台,柔性环可以柔性变形,柔性环由多个同心圆环组成,柔性环的顶端固定在多个圆环形凸台上,抛光环由多个同心圆环组成,抛光环的顶端固定在柔性环的底端上。本发明的磨头能够通过柔性环的柔性变形,自动补偿由机床、装调或工件本身带来的误差,实现非球面的高质量抛光。

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