| 专利名称 | 一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜 | 申请号 | CN201420310973.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203965648U | 公开（授权）日 | 2014.11.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 罗海瀚;刘定权;蔡清元;李耀鹏 | 主分类号 | G02B1/11(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B1/11(2006.01)I | 专利有效期 | 一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜 至一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜，该增透膜使用了硫化锌(ZnS)和氟化镱(YbF3)为不同折射率的膜层材料，使用离子源辅助沉积与合适的基底烘烤温度等特定工艺条件，在基底的两个表面分别沉积8层非规整的膜层。该增透膜元件可以使得在1.25～4.0微米(μm)区间具有良好的透光效果，平均透过率＞95％。TeO2晶体是一种优质的声光晶体，广泛应用于声光调制器，该增透膜可以有效提高声光调制器的光学效率，在宽光谱应用方面呈现出明显优势。 |
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