| 专利名称 | OLED器件制造设备 | 申请号 | CN201420243831.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203941951U | 公开（授权）日 | 2014.11.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 发明（设计）人 | 马东阁;钱进;刘一鹏 | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L51/56(2006.01)I | 专利有效期 | OLED器件制造设备 至OLED器件制造设备 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | OLED器件制造设备，属于有机光电子产业技术领域，为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元；解决了OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元、电子束单元和封装单元更好的结合到了一起，真正实现了全真空无相互污染的OLED生产技术，而“团簇式”结构也利于设备检修和维护。 |
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