| 专利名称 | 一种金属纳米叉指光栅的制备方法 | 申请号 | CN201310301646.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104142530A | 公开（授权）日 | 2014.11.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 李俊杰;孙伟杰;李林;全保刚;夏晓翔;顾长志 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种金属纳米叉指光栅的制备方法 至一种金属纳米叉指光栅的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种金属纳米叉指光栅的制备方法，其包括以下步骤：步骤A：在清洗好的衬底基片上，采用镀膜设备生长一定厚度的金属膜；步骤B：对所述金属膜旋涂光刻胶，采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅；步骤C：采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上；步骤D：在热丙酮溶液中洗去金属膜和叉指光栅上的残胶，再使用微波等离子体去胶机去掉残留有机物。上述制备方法采用了电子束光刻和离子束刻蚀技术，能够实现纳米尺寸的结构加工，精确控制叉指型金属光栅的结构周期，有效的改变光栅的结构周期，缝宽及线宽；且通过本方法制备的叉指光栅，兼有纳米电极和纳米光栅的两种功能。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障