高动态范围激光远场焦斑测量装置

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专利名称 高动态范围激光远场焦斑测量装置 申请号 CN201420261945.4 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203908683U 公开(授权)日 2014.10.29 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 段亚轩;陈永权;龙江波;赵建科;田留德;李坤;薛勋 主分类号 G01J9/04(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/04(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I 专利有效期 高动态范围激光远场焦斑测量装置 至高动态范围激光远场焦斑测量装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及一种高动态范围激光远场焦斑测量装置,该高动态范围激光远场焦斑测量装置包括激光缩束/扩束系统、衰减楔板、分光镜、科学级CCD探测器、微透镜阵列、CCD探测器以及控制计算机;激光缩束/扩束系统、衰减楔板以及分光镜依次设置在同一光路上;分光镜将入射至分光镜的光分为透射光以及反射光;科学级CCD探测器设置在经分光镜后的反射光所在光路上;微透镜阵列以及CCD探测器依次设置在经分光镜后的折射光所在光路上;科学级CCD探测器以及CCD探测器分别与控制计算机相连。本实用新型提供了一种可实现对高动态范围激光远场焦斑动态测量、并很好保证测量精度的测量装置。

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