| 专利名称 | 一种大数值孔径浸没式投影物镜 | 申请号 | CN201410330973.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104111515A | 公开（授权）日 | 2014.10.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;廖志远;邓超 | 主分类号 | G02B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大数值孔径浸没式投影物镜 至一种大数值孔径浸没式投影物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种大数值孔径浸没式投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该大数值孔径浸没式投影物镜，沿其光轴方向包括两个同轴放置的非球面反射镜和六个透射组。从光束入射方向依次排布透射组G1具有正焦距，透射组G2具有正焦距，透射组G3具有正焦距，反射组具有负光焦度，透射组G4具有负焦距，透射组G5具有正焦距，透射组G6具有正焦距，本发明的大数值孔径浸没式投影物镜可将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内，该投影物镜具有数值孔径大、成像质量好、结构紧凑、容易加工装调等优点。 |
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