具有高膜基结合力的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法

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专利名称 具有高膜基结合力的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法 申请号 CN201410350870.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104112562A 公开(授权)日 2014.10.22 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 祁晓玉;王永;张健;杜娟;夏卫星;闫阿儒;刘平 主分类号 H01F10/16(2006.01)I IPC主分类号 H01F10/16(2006.01)I;H01F41/18(2006.01)I 专利有效期 具有高膜基结合力的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法 至具有高膜基结合力的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种具有高膜基结合力的Sm-Co基永磁薄膜,该Sm-Co基永磁薄膜与基体之间是缓冲层,该缓冲层是两层结构,一层是与位于基体表面的铜薄膜层,另一层是位于铜薄膜层表面的钨薄膜层,该缓冲层能够有效提高Sm-Co基永磁薄膜与基体的结合力。实验证实,具有该结构的Sm-Co基永磁薄膜在热处理过程中的热处理温度得到大幅度提高,能够从现有的600℃~800℃上升至900℃以上,甚至当热处理温度高达1000℃时仍与基体结合完好,未出现脱落现象。

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