一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置

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专利名称 一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置 申请号 CN201410199399.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104111268A 公开(授权)日 2014.10.22 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 曾华荣;徐琨淇;陈立东;赵坤宇;李国荣 主分类号 G01N25/20(2006.01)I IPC主分类号 G01N25/20(2006.01)I;G01Q30/10(2010.01)I;G01Q70/08(2010.01)I 专利有效期 一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置 至一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置,该装置进一步包括:一原子力显微镜导电探针原位加温模块,用于实现原子力显微镜导电探针的原位加热以及与其相互接触的纳米热电材料微区加热;一纳米塞贝克系数原位检测模块,用于提供发展原位表征纳米塞贝克系数装置的原子力显微镜平台,并原位实现所述纳米热电材料纳米塞贝克电压信号的原位激发和原位检测,并进而获得纳米塞贝克系数的原位定量表征结果。本申请将原子力显微镜纳米检测功能、焦耳热效应、热传导效应和热电材料塞贝克物理效应相结合,建立起基于原子力显微镜导电探针原位加热、原位定量表征纳米塞贝克系数的新装置。

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