| 专利名称 | 多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法 | 申请号 | CN201410348746.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104111591A | 公开（授权）日 | 2014.10.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 胡小邦;张友宝;孙征宇;杨宝喜;李璟;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I | 专利有效期 | 多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法 至多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个可动镜片在各自运动轨迹范围内运动；能实现多个可动镜片准确、快速的回零，且在回零过程中不相撞。该发明既满足了尺寸结构紧凑、维护性强的要求，也满足了高精度的要求，具有通用性。 |
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