| 专利名称 | 基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法 | 申请号 | CN201410360070.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104111120A | 公开（授权）日 | 2014.10.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法 至基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法，该方法采用的朗奇剪切干涉仪结构包括光源、聚焦透镜、散射光学元件、一维衍射光栅板、被测光学系统平台、棋盘光栅、二维光电传感器和计算机。在被测光学系统物平面和像平面分别放置一维衍射光栅和棋盘光栅，通过采集相移间隔为π/4的9幅干涉条纹图计算相位，消除朗奇剪切干涉中多级衍射光干涉对相位提取精度的影响。本发明的相位提取方法，消除0级与±1级以外的较高级次衍射项的影响，降低波像差检测中相位提取的系统误差，提高光学系统的波像差检测精度。 |
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